洁净室施工及验收规范之洁净室工程验收

第一节   一般规定

第５１１条洁净室工程验收宜分为两个阶段进行，即先进行竣工验收，再进行综合性能全面评定。

第５１２条竣工验收和综合性能全面评定必须对洁净室进行性能检测。

第５１３条竣工验收的检测和调整应在空态或静态下进行。综合性能全面评定的检测状态，由建设、设计和施工单位三方协商确定。任何一种检测得出的洁净度级别，必须注明检测状态。

第５１４条在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不应多于２人，均必须穿洁净工作服，尽量少走动。

第５１５条竣工验收和综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位配合。

第二节  竣工验收

第５２１条竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。

第５２２条洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：

一、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；

二、高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可*密封；

三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便；

四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；

五、洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；

六、送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可*严密；

七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可*密封；

八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。

第５２３条净化空调器或空调器，排风系统，局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等），空气吹淋室，余压阀，真空吸尘清扫设备，烟感、温感火灾自动报警装置，自动灭火装置，净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家标准《建筑安装工程质量检验评定标准》ＴＪ３０５（通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。

第５２４条单机试运转合格后，必须进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不少于８ｈ。系统中各项设备部件联动运转必须协调，动作正确，无异常现象。

第５２５条竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定：

一、通风机的风量及转数的检测；

二、风量的测定和平衡；

三、室内静压的检测调整；

四、自动调节系统联动运转；

五、高效过滤器的检漏；

六、室内洁净度级别。

第５２６条洁净室竣工验收时，施工（安装）单位应提出下列文件：

一、设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图；

二、主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件；

三、单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表；

四、开工、竣工报告，土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录，设备开箱检查记录，管道压力试验记录，管道系统吹洗（脱脂）记录，风管漏风检查记录，中间验收单和竣工验收单；

五、各单机试运转、系统联合试运转和第５２５条所列项目的调整检测记录。

第５２７条竣工验收终了应作结论。

第三节   综合性能全面评定

第５３１条综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担，必须用符合要求的、经过计量检定合格并在有效期内的仪表，按本规范的方法检测，最后提交的检测报告应符合本规范的有关规定。

第５３２条综合性能全面评定检测项目应按表５３２中排定的内容顺序确定，检测工作在系统调整好至少运行２４ｈ之后再进行。

第５３３条综合性能全面评定检测进行之前，必须对洁净室和净化空调系统再次全面彻底清扫，但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁净工作服的人员擦拭表面，清洗剂可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剂和自来水，有防静电要求的，最后宜用沾有防静电液的抹布擦一遍。

第５３４条综合性能检测时，建设、设计、施工单位均须在场配合、协调。

第四节  评定标准

第５４１条检漏按附录六、一的方法步骤进行，由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率，对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的２倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的３倍。

第５４２条风量和风速的检测应符合下列规定：

一、乱流洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：

１系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过２０％；

２总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±１０％；

３室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±１５％。

二、单向流（层流）洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：

１实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过２０％；

２总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±１０％。

第５４３条风速不均匀度按附录六、四检测，并按下式计算，结果应不大于０２５。

第５４４条静压差按附录六、三检测，其结果应符合下列规定：

一、相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于５Ｐａ；

二、洁净室与室外静压差应大于１０Ｐａ；

三、洁净度高于１００级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在出入口的室内侧０６ｍ处不应测出超过室内级别上限的浓度。

第５４５条室内洁净度按附录六、五检测，然后按下列公式计算室平均含尘浓度Ｎ和各测点平均含尘浓度的标准误差σＮ

第５４６条室内浮游菌和沉降菌按附录六、六检测，应符合设计要求。

第５４７条室内空气温度、相对温度按附录六、七检测应符合下列规定：

一、无恒温要求的场所，温度和相对湿度符合设计要求；

二、有恒温恒湿要求的场所：室温波动范围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，９０％以上测点达到的偏差值为室温波动范围，应符合设计要求。区域温差以各测点中最低的一次温度为基准，各测点平均温度与其偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，９０％以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求。相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。

第５４８条室内噪声级按附录六、八检测，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》ＧＢＪ７３的规定。

第５４９条室内照度和照度均匀度按附录六、九检测，照度值和照度均匀度（即工作面上最低照度值与平均照度值之比）应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》ＧＢＪ７３的规定。

第５４１０条室内微振按附录六、十检测，三个方向的振幅均应符合设计要求。

第５４１１条表面导静电性能按附录六、十一检测，当工艺无要求时，表面电阻值应为１０×１０７～１０×１０１０Ω，泄漏电阻应为１０×１０５～１０×１０８Ω。

第５４１２条室内气流流型按附录六、十二检测，应绘出流型图和给出分析意见。

第５４１３条流线平行性按附录六、十三检测，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于１５°。

第５４１４条自净时间按附录六、十四检测，实测自净时间不应大于由附图６-３查出的计算自净时间的１２倍。